美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货
这些气体过滤器推荐用于惰性和反应性气体，与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和柜中。
PTFE 膜提供高效过滤
低压降降低了较低蒸气压气体的冷凝风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
适用于惰性气体和反应性气体，包括臭氧
应用领域
Wafergard® II F 微型在线气体过滤器应用
生命科学应用
臭氧应用（气体）
煤气柜和面板
超纯气体系统
内部处理工具
材料
滤芯
由模制 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电解抛光 VAR 316L 不锈钢
下游清洁度 小于 0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3）大于 0.01 µm
挥发物 <10 ppb 水分
去除等级 ≥0.0015微米
内部表面处理 ≤7 µin Ra
氦气泄漏等级 合格的 2×10 -10立方厘米/秒
已测试 1×10 -9立方厘米/秒
运行条件 最大入口压力 207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大前向压差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向压差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度 120°C (248°F)
颗粒保留
在 30 slpm 下去除所有颗粒的率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的颗粒尺寸为准）
流量等级 参考性能数据