美国 Entegris 应特格 过滤器 精密现货 WG2FT1RR2
这些气体过滤器适用于惰性气体和活性气体，与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和机柜中。
PTFE 膜提供高效过滤
低压降降低了低蒸气压气体凝结的风险
与各类半导体工艺气体具有出色的兼容性
适用于惰性气体和活性气体，包括臭氧
材料
滤芯
由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜
住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢
下游清洁度 少于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/立方英尺)大于 0.01 微米
挥发物 水分含量<10 ppb
移除评级 ≥0.0015微米
内部表面处理 ≤7 微英寸 Ra
氦气泄漏等级 合格的 2 × 10 -10立方厘米/秒
已测试 1 × 10 -9立方厘米/秒
运行条件 最大入口压力 207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向压差 4 巴（60 psid）@ 23°C（73°F）
最大反向压差 0.07 兆帕（0.7 巴，10 磅/平方英寸）@ 23°C（73°F）
最高工作温度 120°C（248°F）
颗粒保留
去除率大于 99.9999999% (9 LRV) 的所有颗粒 @ 30 slpm（参考最具穿透力的颗粒尺寸）
流量等级 参考性能数据
WG2FT1BW2
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1RR2L
WG2FT1SS2