美国 Entegris 应特格 过滤器 WGFGMBRR4 全新
应用 - - 用于光伏电池的工艺气体 - 用于平板显示器的工艺气体 - 气柜 - 阀组箱体 - 配气盘：MFC 下游、MFC 上游、压力调节器上游 - 工艺室上游 - 清洗/通风/压力控制管线：特点和优点 - - 低压降过滤器，节省时间和成本 - 从输入气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒，最大限度地减少工艺缺陷 - 占地面积小，更易于实施 - 该产品的内表面 Ra ≤25 µin，为压缩空气、惰性气体和工艺气体的过滤提供了经济高效的解决方案 - 在洁净室制造、焊接和测试，具有高可靠性
规格 - 材料 过滤器元件 疏水性 PTFE 膜，由成型 PFA 结构支撑 外壳 电抛光 316L 不锈钢 颗粒保留率 ≥99.9999999% (9 LRV)（以穿透力最强的颗粒尺寸为基准）@ 500 slpm 去除等级 ≥0.0015 µm 内部表面光洁度 ≤25 µin Ra 氦气泄漏等级 合格 2 × 10-11 Pa m3 /sec (2 × 10-10 atm cc/sec) 测试 1 × 10-9 Pa m3 /sec (1 × 10-8 atm cc/sec) 工作条件 最大工作压力： 6.最大正向压差：0.703 兆帕（7.03 巴，102 psid），23°C (73°F) 最大反向压差：0.248 兆帕（2.48 巴，36 psid），23°C (73°F) 最高工作温度：在惰性气体中为 120°C (248°F) 流量额定值 参见性能数据
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