ENTEGRIS应特格公司成立于1966年，总部设在美国马萨诸塞州拜勒瑞卡，在美国、日本和马业西亚等国家设有生产基地，在全球十一个国家设有销售和服务中心。
应特格公司主要服务于半导体制造业，是一家材料整合管理公司。作为全球材料整合管理界的先行者，应特格为半导体制造提供包括纯化过滤、流体传送、芯片及其他关键材料的保护和传送等方面的产品及服务。应特格公司以其高性能的产品及技术成为世界半导体厂商、设备制造商及材料供应商长期合作伙伴。
应特格公司凭借着在材料科学及分子污染控制领域的技术优势，帮助客户提高技术水平及产品成品率，包括半导体制造工艺中的光刻、湿法蚀刻、化学机械研磨、化学气相沉积、晶片处理与贮运、测试及封装等。
美国 Entegris 应特格 过滤器 WGMXMSRR4 现货
Wafergard® MAX 内联式 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低压差应用而设计
适用于惰性气体和活性气体，包括臭氧
预处理以快速启动（仅限银色）
Wafergard® MAX 内联式 PTFE 气体过滤器应用
与所有类别的半导体工艺气体兼容
与一般氮气和 CDA 应用兼容
材料 滤芯 由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/立方英尺)大于 0.01 微米
挥发物（银） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（最低检测限为 5 ppb）
移除评级 ≥0.0015微米
内部表面处理 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20μin Ra
WGMX（银/铜加）MS XXX/XXX ≤7μin Ra
氦气泄漏等级 合格的 2 x 10 -10大气压-立方厘米/秒
已测试 1 x 10 -9大气压-立方厘米/秒
工作条件
最大入口压力
银和青铜以及 1⁄4" 和 1⁄2" VCR ®兼容配件：7.0 MPa（70 bar，1015 psig）
青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容配件：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
青铜和青铜加 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok ®兼容接头：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
最大正向压差 7 巴 (102 psid)
最大反向压差 2.5 巴（36 磅/平方英寸）
最高工作温度 120°C（248°F）
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1 年
银 3 年
颗粒保留 去除所有颗粒的效率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的颗粒大小为参考）
零件编号 配件尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公头 VCR® 兼容入口，1/4" 母头 VCR® 兼容出口 141.2 毫米 (5.6")
WGMXMBRR2 兼容 1/4" 公头 VCR® 127 毫米 (5.00")
WGMXMBRR4 兼容 1/2" 公头 VCR® 127 毫米 (5.00")
WGMXMBSS2 1/4" Swagelok® 兼容 112.7 毫米 (4.44")
WGMXMBSS3 兼容 3/8" Swagelok® 117.9 毫米（4.64）
WGMXMBSS4 1/2" Swagelok® 兼容 118.7 毫米 (4.67")
WGMXMPRR2 兼容 1/4" 公头 VCR® 127 毫米 (5.00")
WGMXMPRR4 兼容 1/2" 公头 VCR® 127 毫米 (5.00")
WGMXMPSS2 1/4" Swagelok® 兼容 112.7 毫米 (4.44")
WGMXMPSS3 兼容 3/8" Swagelok® 117.9 毫米（4.64）
WGMXMPSS4 1/2" Swagelok® 兼容 118.7 毫米 (4.67")
WGMXMSBW2 1/4" 对接焊管 133.4 毫米 (5.25")
WGMXMSBW3 3/8" 对接焊管 133.4 毫米 (5.25")
WGMXMSBW4 1/2" 对接焊管 133.4 毫米 (5.25")
WGMXMSRR2 兼容 1/4" 公头 VCR® 127 毫米 (5.00")
WGMXMSRR4 兼容 1/2" 公头 VCR® 127 毫米 (5.00")