Wafergard® MAX 内联式 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低压差应用而设计
适用于惰性气体和活性气体，包括臭氧
预处理以快速启动（仅限银色）
为超纯气体系统提供卓越的惰性气体和活性气体颗粒过滤。
- 最清洁、最高效的全金属过滤器
- 获得专利的镍滤膜具有出色的耐腐蚀性以及与惰性气体和活性气体的出色兼容性*
- 最先进的外壳组件通过最小化焊接面积来消除排气
- 全金属结构非常适合高温和动态压力应用
- 紧凑的尺寸和灵活的配件选择提高了设计效率并最大限度地降低了工程成本
*不建议与 CO、O 3和低浓度氢化物掺杂气体一起使用。
Wafergard® III NF 微型直列式气体过滤器应用
超纯气体管线
高温应用
新工厂建设
动压应用
惰性气体和活性气体
材料 滤芯 获得专利的烧结镍膜过滤器
住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 颗粒* 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/立方英尺)大于 0.01 微米
易挥发的** H2O、O2和THC的挥发性释气量低于可检测限（室温下通过 RGA 和 FID 测定）
移除评级 ≥0.0015微米
内部表面处理 ≤5μin Ra
氦气泄漏等级 合格的 2x10 -10 atm 立方厘米/秒。
已测试 1x10 -9 atm 立方厘米/秒。
工作条件 最大允许工作压力（设计压力）：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向/反向压差：35 bar (500 psid)
最高工作温度：惰性气体 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蚀性和活性气体：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修单 5 年
颗粒保留 去除所有颗粒的效率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的颗粒大小为参考）
流量等级 参考性能数据
零件编号 配件尺寸和类型 长度
WG3NS5RR2 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/出口 84.1 毫米 (3.31")
WG3NSMFF2 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）母入口/出口 58.4 毫米 (2.30")
WG3NSMFR2 1/4" 极化垫圈密封（兼容 VCR 接头）母入口/公出口 71.1 毫米 (2.80")
WG3NSMJJ2 1/4" 对接焊入口/出口 28.4 毫米 (1.12")
WG3NSMSL2 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/出口 50.8 毫米 (2.00")