美国 Entegris应特格CBUG0S0S1 液体过滤器Optimizer® DI
ENTEGRIS应特格公司成立于1966年，总部设在美国马萨诸塞州拜勒瑞卡，在美国、日本和马业西亚等国家设有生产基地，在全球十一个国家设有销售和服务中心。
应特格公司主要服务于半导体制造业，是一家材料整合管理公司。作为全球材料整合管理界的先行者，应特格为半导体制造提供包括纯化过滤、流体传送、芯片及其他关键材料的保护和传送等方面的产品及服务。应特格公司以其高性能的产品及技术成为世界半导体厂商、设备制造商及材料供应商长期合作伙伴。
应特格公司凭借着在材料科学及分子污染控制领域的技术优势，帮助客户提高技术水平及产品成品率，包括半导体制造工艺中的光刻、湿法蚀刻、化学机械研磨、化学气相沉积、晶片处理与贮运、测试及封装等。
液体光化学过滤器专为使用点 (PoU) 光刻工艺中的去离子水应用而设计。小巧的胶囊外形和干净的膜/支撑/外壳材料可在 > 28 nm 节点应用中提供高纯度污染物去除性能。
Optimizer® DI 过滤器应用
行业：半导体（光刻）
化学：光化学品、溶剂
安装点：工具点
材料 膜： 上层建筑*
支撑、芯部、套管： 高密度聚乙烯
住房： 聚丙烯
膜面积 直接投资 1800 厘米²（1.94 平方英尺）
直链 3600 厘米²（3.88 平方英尺）
DI-L（20 纳米） 2100 厘米²（2.26 平方英尺）
留存率 直喷、直喷-L 0.2、0.1、0.05 微米、20 纳米
配件 提供多种配件，包括 Super Type Pillar ®配件、压缩密封件（Swagelok ®兼容配件）和 Flaretek ®配件。
工作条件 最大入口压力 0.345 兆帕（3.45 巴、50 磅/平方英寸、3.52 千克/平方厘米）@ 25°C（77°F）
最大正向/反向压差 0.345 兆帕（3.45 巴、50 磅/平方英寸、3.52 千克/平方厘米）@ 25°C（77°F）
0.28 兆帕（2.8 巴、40 磅/平方英寸、2.8 千克/厘米²）@ 25°C（77°F）
工作温度 60°C（140°F）
*表面改性UPE
零件编号 光刻技术 长度 留存率 联系
CBUG0S0F1 氟化钾 短胶囊 0.2 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Flaretek® 配件
CBUG0S0P1 氟化钾 短胶囊 0.2 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，超级 Pillar® 接头
CBUG0S0S1 氟化钾 短胶囊 0.2 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，压缩配件
CBUG2L0P1 氟化钾 长胶囊 0.2 微米 1/2" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUG3L0P1 氟化钾 长胶囊 0.2 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUG3L0S1 氟化钾 长胶囊 0.2 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，压缩配件
CBUG6S0P1 氟化钾 短胶囊 0.2 微米 6 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUG8L0P1 氟化钾 长胶囊 0.2 微米 8 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUG8S0P1 氟化钾 短胶囊 0.2 微米 8 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUV0L0P1 氟化钾 长胶囊 0.1 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，超级 Pillar® 接头
CBUV0L0S1 氟化钾 长胶囊 0.1 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，压缩配件
CBUV0S0F1 氟化钾 短胶囊 0.1 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Flaretek® 配件
CBUV0S0P1 氟化钾 短胶囊 0.1 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，超级 Pillar® 接头
CBUV0S0S1 氟化钾 短胶囊 0.1 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，压缩配件
CBUV2L0P1 氟化钾 短胶囊 0.1 微米 1/2" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUV3L0F1 氟化钾 短胶囊 0.1 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风/排水 Flaretek® 配件
CBUV3L0P1 氟化钾 长胶囊 0.1 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUV3L0S1 氟化钾 长胶囊 0.1 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，压缩配件
CBUV3S0P1 氟化钾 短胶囊 0.1 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUV6S0P1 氟化钾 短胶囊 0.1 微米 6 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUV8L0P1 氟化钾 长胶囊 0.1 微米 8 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUV8S0P1 氟化钾 短胶囊 0.1 微米 8 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUX3L0P1 氟化氢 长胶囊 20纳米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUX8L0P1 氟化氢 长胶囊 20纳米 8 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUX8S0P1 氟化氢 短胶囊 20纳米 8 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUZ0L0S1 氟化钾 长胶囊 0.05 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，压缩配件
CBUZ0S0F1 氟化钾 短胶囊 0.05 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Flaretek® 配件
CBUZ0S0P1 氟化钾 短胶囊 0.05 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，超级 Pillar® 接头
CBUZ0S0S1 氟化钾 短胶囊 0.05 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，压缩配件
CBUZ2L0P1 氟化钾 长胶囊 0.05 微米 1/2" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUZ3L0F1 氟化钾 长胶囊 0.05 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风/排水 Flaretek® 配件
CBUZ3L0P1 氟化钾 长胶囊 0.05 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUZ3L0S1 氟化钾 长胶囊 0.05 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，压缩配件
CBUZ3L0X1 氟化钾 长胶囊 0.05 微米 —
CBUZ6S0P1 氟化钾 短胶囊 0.05 微米 6 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUZ8L0P1 氟化钾 长胶囊 0.05 微米 8 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件
CBUZ8S0P1 氟化钾 短胶囊 0.05 微米 8 毫米入口/出口，4 毫米通风口/排水口，Super Type Pillar® 配件