Entegris 过滤

美国 Entegris 应特格 过滤器现货 WGMXMPRR4
  • 美国 Entegris 应特格 过滤器现货 WGMXMPRR4

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    美国 Entegris 应特格 过滤器现货 WGMXMPRR4

     

    NTEGRIS应特格公司成立于1966年,总部设在美国马萨诸塞州拜勒瑞卡,在美国、日本和马业西亚等国家设有生产基地,在全球十一个国家设有销售和服务中心。

      应特格公司主要服务于半导体制造业,是一家材料整合管理公司。作为全球材料整合管理界的先行者,应特格为半导体制造提供包括纯化过滤、流体传送、芯片及其他关键材料的保护和传送等方面的产品及服务。应特格公司以其高性能的产品及技术成为世界半导体厂商、设备制造商及材料供应商长期合作伙伴。

      应特格公司凭借着在材料科学及分子污染控制领域的技术优势,帮助客户提高技术水平及产品成品率,包括半导体制造工艺中的光刻、湿法蚀刻、化学机械研磨、化学气相沉积、晶片处理与贮运、测试及封装等。

     

    液体光化学过滤器专为使用点 (PoU) 光刻工艺中的去离子水应用而设计。小巧的胶囊外形和干净的膜/支撑/外壳材料可在 > 28 nm 节点应用中提供高纯度污染物去除性能。

     

    这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容,并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。

    PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色 
    专为高流量和低压差应用而设计 
    适用于惰性气体和活性气体,包括臭氧 
    预处理以快速启动(仅限银色) 

     

    应用
    Wafergard® MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
    与所有类别的半导体工艺气体兼容
    与一般氮气和 CDA 应用兼容

     

    产品规格
    材料    滤芯    由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜
         住房    电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
    下游清洁度    粒子    小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/立方英尺)大于 0.01 微米
         挥发物(银)    <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC(最低检测限为 5 ppb)
    移除评级    ≥0.0015微米
    内部表面处理    WGMX(青铜)MB XXXX    ≤20μin Ra
         WGMX(银/铜加)MS XXX/XXX    ≤7μin Ra
    氦气泄漏等级    合格的    2 x 10 -10大气压-立方厘米/秒
         已测试    1 x 10 -9大气压-立方厘米/秒
    工作条件
         最大入口压力
         银和青铜以及 1⁄4" 和 1⁄2" VCR ®兼容配件:7.0 MPa(70 bar,1015 psig)
              青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容配件:6.0 MPa(60 bar,870 psig)
              青铜和青铜加 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok ®兼容接头:6.0 MPa(60 bar,870 psig)
         最大正向压差    7 巴 (102 psid)
         最大反向压差    2.5 巴(36 磅/平方英寸)
         最高工作温度    120°C(248°F)
    流量等级    参考性能数据
    保修单    青铜    1 年
         银    3 年
    颗粒保留    去除所有颗粒的效率大于 99.9999999% (9 LRV)(以最具穿透力的颗粒大小为参考)

     

    Wafergard® MAX 在线 PTFE 气体过滤器零件编号
    零件编号    配件尺寸和类型    长度
    WGMXMBPRF2    1/4" 公头 VCR® 兼容入口,1/4" 母头 VCR® 兼容出口    141.2 毫米 (5.6")
    WGMXMBRR2    兼容 1/4" 公头 VCR®    127 毫米 (5.00")
    WGMXMBRR4    兼容 1/2" 公头 VCR®    127 毫米 (5.00")
    WGMXMBSS2    1/4" Swagelok® 兼容    112.7 毫米 (4.44")
    WGMXMBSS3    兼容 3/8" Swagelok®    117.9 毫米(4.64)
    WGMXMBSS4    1/2" Swagelok® 兼容    118.7 毫米 (4.67")
    WGMXMPRR2    兼容 1/4" 公头 VCR®    127 毫米 (5.00")
    WGMXMPRR4    兼容 1/2" 公头 VCR®    127 毫米 (5.00")
    WGMXMPSS2    1/4" Swagelok® 兼容    112.7 毫米 (4.44")
    WGMXMPSS3    兼容 3/8" Swagelok®    117.9 毫米(4.64)
    WGMXMPSS4    1/2" Swagelok® 兼容    118.7 毫米 (4.67")
    WGMXMSBW2    1/4" 对接焊管    133.4 毫米 (5.25")
    WGMXMSBW3    3/8" 对接焊管    133.4 毫米 (5.25")
    WGMXMSBW4    1/2" 对接焊管    133.4 毫米 (5.25")
    WGMXMSRR2    兼容 1/4" 公头 VCR®    127 毫米 (5.00")
    WGMXMSRR4    兼容 1/2" 公头 VCR®    127 毫米 (5.00")

    LOGO

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