美国Entegris 应特格 YY5032PS1 过滤器原装现货
Wafergard® SG PA/PAL 气体过滤器提供微粒过滤，设计流速范围高达 200 slpm*，可最大限度地提高光伏电池和显示器制造的产量。PTFE 膜和 PFA 支撑滤芯与工艺气体**以及惰性气体和 CDA 应用兼容。
Entegris 为关键材料和加工难题提供解决方案，以最大限度地提高高科技生产率并降低生产成本。我们的过滤、净化和材料完整性管理产品和技术为客户提供了领先的产品性能。
材料 滤芯 疏水性 PTFE 膜，由模制 PFA 支撑
O 形圈 PFA O 形圈（仅限 SG PAL）
外壳 电抛光 316L 不锈钢
颗粒截留率 ≥99.99% (4 LRV)
（以穿透力最强的
穿透力最大的颗粒尺寸）
@ 30 slpm：SG PA
90 slpm：SG PAL
去除率 ≥0.0015 µm
内部表面光洁度 ≤25 µin Ra
氦气泄漏等级 合格 2 × 10-11 Pa m3
/秒 (2 × 10-10 atm cc/sec)
测试
/每秒 (1 × 10-8 atm cc/sec)
工作条件 最大工作压力：
20 兆帕（200 巴，2900 psig）@ 23°C (73°F)
最大正向压差
0.414 兆帕（4.14 巴，60 psid），温度为 23°C (73°F)
最大反向压差
0.069 兆帕（0.69 巴，10 psid），工作温度为 23°C (73°F)
最高工作温度：
在惰性气体中为 120°C (248°F)
额定流量 参见性能数据
