美国 Entegris 应特格 气体过滤器 WGMXMPRR2原装
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
- PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
- 专为高流量和低压差应用而设计
- 适用于惰性气体和活性气体，包括臭氧
- 预处理以快速启动（仅限银色）
Wafergard® MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
与所有类别的半导体工艺气体兼容
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
材料 滤芯 由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/立方英尺)大于 0.01 微米
挥发物（银） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（最低检测限为 5 ppb）
移除评级 ≥0.0015微米
内部表面处理 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20μin Ra
WGMX（银/铜加）MS XXX/XXX ≤7μin Ra
氦气泄漏等级 合格的 2 x 10 -10大气压-立方厘米/秒
已测试 1 x 10 -9大气压-立方厘米/秒
工作条件
最大入口压力
银和青铜以及 1⁄4" 和 1⁄2" VCR ®兼容配件：7.0 MPa（70 bar，1015 psig）
青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容配件：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
青铜和青铜加 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok ®兼容接头：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
最大正向压差 7 巴（102 磅/平方英寸）
最大反向压差 2.5 巴（36 磅/平方英寸）
最高工作温度 120°C（248°F）
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1 年
银 3 年